مثالی اینچنگ عمل کی خصوصیات
Jul 10, 2025
سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ اور دیگر مائیکرو نانو پروسیسنگ فیلڈز کی اعلی صحت سے متعلق ضروریات کو پورا کرنے کے لئے مثالی اینچنگ کے عمل میں درج ذیل کلیدی خصوصیات ہونی چاہئیں۔
① انیسوٹروپک اینچنگ ، جس کا مطلب ہے کہ پس منظر کی کھدائی کے بغیر صرف عمودی اینچنگ . صرف اس طرح سے ہم جغرافیائی شکلوں کی عین مطابق نقل کو یقینی بناسکتے ہیں جو اینچڈ فلم پر مزاحمت کرنے والوں کی طرح ہیں۔
② اچھ ing ی اینچنگ سلیکٹیویٹی کا مطلب یہ ہے کہ ماسک کے طور پر استعمال ہونے والی مزاحمت کی اینچنگ ریٹ اور بنیادی پتلی فلم یا مواد اینچنگ پتلی فلم کی نسبت بہت کم ہے ، تاکہ اینچنگ کے عمل کے دوران مزاحمت کی نقاب پوش کی تاثیر کو یقینی بنایا جاسکے اور اونچائی کی وجہ سے پتلی فلم کے نیچے دیگر مواد کو پہنچنے والے نقصان کو روکا جاسکے۔
③ بڑے پروسیسنگ بیچز ، آسان کنٹرول ، کم لاگت ، کم سے کم ماحولیاتی آلودگی ، صنعتی پیداوار کے لئے موزوں .
