اینچنگ عمل کا بہاؤ

1. بیس صفائی

الٹراسونک صفائی ، تیزاب/الکالی حل علاج (جیسے آر سی اے کی صفائی) ، پلازما کی صفائی اور دیگر طریقوں کا استعمال سطح کے آلودگیوں (تیل ، ذرات ، آکسائڈ پرت) کو دور کرنے کے لئے کیا جاتا ہے۔

2. فوٹوورسٹ کوٹنگ

یکساں فوٹوورسٹ پرت بنانے کے لئے کوٹنگ کو گھمائیں ، سالوینٹس کو دور کرنے کے لئے پری بیک کریں ، اور آسنجن کو بڑھا دیں۔

3. نمائش اور ترقی

نمائش: الٹرا وایلیٹ لائٹ ، گہری الٹرا وایلیٹ لائٹ ، یا انتہائی الٹرا وایلیٹ لائٹ کے ساتھ فوٹوزرسٹ میں فوٹو کیمیکل رد عمل پیدا کرنے کے لئے ماسک کا استعمال کرنا۔

ترقی: اس علاقے کو بے نقاب کرنے کے لئے ترقی پذیر حل کے ساتھ بے نقاب علاقہ (مثبت جیل) یا غیر متوقع علاقے (منفی جیل) کو تحلیل کریں۔

4. اینچنگ

گیلے اینچنگ: اینچنگ حل میں سبسٹریٹ کو غرق کریں یا چھڑک کر اس کا علاج کریں۔

خشک اینچنگ: ایک رد عمل والی گیس (جیسے سی ایل ₂ ، سی ایف ₄) کو ویکیوم چیمبر میں متعارف کرایا گیا ہے تاکہ اینچنگ کے لئے پلازما کو حوصلہ افزائی کی جاسکے۔

5. فوٹوورسٹ اتارنے کو ہٹا دیں

گیلے جیلیٹینائزیشن: سالوینٹس کا استعمال کریں جیسے ایسیٹون ، این میتھلپیرولڈون (این ایم پی) ، یا مضبوط تیزاب/آکسیڈینٹ (جیسے H ₂ SO ₄+H ₂ O ₂)۔

خشک جیلیٹینائزیشن: آکسیجن پلازما ایشنگ ، موثر اور اوشیشوں سے پاک۔

6. پوسٹ پروسیسنگ اور معائنہ

صفائی: اینچنگ بائی پروڈکٹ اور بقایا ریجنٹس کو ہٹا دیں۔

پتہ لگانے: اس کی شکل کا تجزیہ کریں ، اس کے سائز کی پیمائش کریں ، اور مائکروسکوپ اسکیننگ کے ذریعے بجلی کی جانچ کریں۔